ASML là công ty có trụ sở ở Hà lan, nhưng thực tế thì 1 cỗ máy quang khắc ASML sử dụng nghiên cứu/ công nghệ/ bộ phận của nhiều nước khác: Mỹ, Nhật, Đức, Pháp. Thấy nói rằng 1 cỗ máy quang khắc EUV giá bán 140 triệu đô thì riêng giá trị các license của Mỹ đã là 8%, 2 bộ phận quan trong nhất là nguồn laser thì của Nhật và gương quang khắc là của Đức . (Cho nên tôi rất thắc mắc là Tây nó cần nhiều nước xúm vào thì mới ra máy quang khắc EUV mà sao TQ bị cấm vận thế vẫn tư ra được máy quang khắc 28nm?)
Máy quang khắc ASML 28nm thì SMIC Trung quốc đã kịp mua mấy cái trước khi bị Trump cấm vận, nên chắc chắn là SMEE (công ty chế tạo máy quang khắc TQ) đã copy mẫu máy này để chế ra mẫu 28nm của mình. Cái mà tôi thắc mắc là trình độ chế tạo của các thiết bị bên trong, chẳng hạn gương quang khắc.
Tôi đã đọc bài phỏng vấn ông phó tổng Carl Zeiss, nói rằng mặt gương quang khắc 2cm2 phải phẳng tuyệt đối đến mức, nếu phóng to nó ra bằng nước Đức (370 ngàn km2) thì độ mấp mô của mặt mới chỉ là 0,001mm. Tôi rất khó tin là TQ có thể chế ra một mặt gương có độ phẳng như vậy.
Thiết bị, hoá chất thì là những nước này, không chỉ Đức, Pháp, Mỹ, Nhật mà còn cả Áo nữa, tham gia góp chính vào việc tạo ra cái hệ thống quang khắc này. Còn chất xám nghiên cứu, bí quyết công nghệ để làm ra nó, thì nhiều nước, trong đó có Nga, đều tham gia vào. Còn Trung Quốc thì đã nắm được bí quyết quang khắc, hay chí ít những thứ nền tảng này, chính là từ Liên Xô và Nga đấy. Tôi nghĩ TQ nắm được bí quyết chế tạo máy quang khắc rồi, chỉ là còn khó khăn ở 1 số khâu, và Mỹ đang muốn chặn lại
Câu chuyện về sự phát triển ngành quang khắc của TQ thì lằng nhằng, dính dáng đến nhiều nước lắm, nhưng đầu tiên chính là Liên Xô, Nga.
Lúc đó vào những năm 80s, Liên Xô thực hiện một lắp đặt quang khắc với nguồn sáng ở bước sóng 248 nm (gần như cách mạng thời đó), bí quyết phát triển công nghệ là của là Viện Vật lý-Công nghệ (Institute of Physics and Technology) thuộc Viện Hàn lâm Khoa học Nga, cụ thể là nhóm của Viện sĩ Nga Kamil Valiev, tức là ông này
Kamil Akhmetovich Valiev. Russian Virtual Computer Museum
www.computer-museum.ru
Nguyên mẫu đó dược xí nghiệp Belarus là Planar thực hiện theo bí kíp công nghệ và dưới sự chỉ đạo của ông này và các cộng sự. Vào cuối thập kỷ 80, đầu 90, tình hình khó khăn cho Liên Xô, và khi tan rã, họ đã bán cho Trung Quốc. Đó là những bước đầu của TQ.
Chuyện này không chỉ xảy ra một lần và trong nhiều lĩnh vực, ví dụ sự đi lên của Huawei, ít người biết được sự đi lên của nó cũng có liên quan với Nga, vì cả Nga và TQ đều tránh không nhắc đến trên media, còn phương tây cũng k dại gì nhắc đến.
Năm 1997, Huawei đã mua lại 70% cổ phần của nhà sản xuất thiết bị viễn thông Nga BETO ở thành phố Ufa và thành lập một liên doanh. Các thiết bị switch mạng ban đầu của Huawei đã được sản xuất bằng công nghệ của Nga.
Sau đó, Huawei đã giới thiệu tiêu chuẩn Single RAN được sử dụng trên toàn thế giới trong việc xây dựng mạng 3G. Single RAN - công nghệ truy nhập vô tuyến trong mạng thông tin di động - cho phép các nhà khai thác hỗ trợ tất cả các tiêu chuẩn thông tin di động hiện có bằng cách sử dụng các giải pháp phần cứng nhỏ gọn mà không cần lắp đặt cột và antena riêng cho từng băng tần.
Với giải pháp công nghệ này, Huawei đã chiếm vị trí hàng đầu toàn thế giới trong lĩnh vực sản xuất thiết bị viễn thông cho mạng di động. Tiêu chuẩn Single RAN cho Huawei đã được tạo ra bởi các nhà phát triển Nga nhưng chuyện này ít ai biết đến, vì không ai công khai cả (mãi đến năm 2020 chuyện này mới hé lộ).
Nói chung khi Liên Xô tan rã, những năm đầu 90s, TQ hốt rất nhiều công nghệ từ Nga, đáng nói nhất là SU-27 đã nâng cấp cả nền hàng không TQ, không có vụ này, chắc TQ vẫn dùng máy bay quân sự thế hệ 60, 70
Gần đây, Huawei mua công nghệ trí tuệ nhân tạo nhận dạng khuôn mặt của công ty Nga Vokord và cả team đi kèm, tạo thành công ty mới là Eagle Softlab.
Quay lại vụ quang khắc, TQ sau khi có bước đầu, họ tự mày mò, tham gia hợp tác, mua và có thể cả ăn cắp từ nhiều nước, trong đó chắc có Nga. Giữa Nga và ASML cũng có sự hợp tác sâu về nghiên cứu quang khắc
Hồi năm 2006, ASML đã phát triển, với sự tham gia của các nhà khoa học Nga cũng như các nước khác, một nguyên mẫu của một cài đặt photolithographic ở bước sóng 13,5 nm và gửi chúng để nghiên cứu và thử nghiệm cho Trung tâm Vi điện tử Quốc tế IMEC ( IMEC International Microelectronic Center) ở Bỉ và một trung tâm tương tự ở Albany, Hoa Kỳ.
Cùng lúc đó, một nhóm các nhà khoa học Nga cũng đang nghiên cứu tạo ra cả hai đơn vị quan trọng nhất của hệ thống lắp đặt photolithographic hiện đại nhất ở bước sóng 13,5 nm, và cả chính hệ thống lắp đặt đó. Họ hợp tác với ASML trong việc này và đồng thời cố gắng thuyết phục chính phủ Nga đầu tư thêm cho họ
Sau đó thì sự phát triển của hệ thống quang học và các phần tử để cho phép hệ thống photolithographic installations này hoạt động được ở bước sóng này, và nguyên mẫu của chính hệ thống này, đã được phát triển tại Viện Vật lý cấu trúc vi mô (IMP - Institute for Physics of Microstructures) thuộc Viện Hàn lâm Khoa học Nga ở Nizhny Novgorod, do Thành viên của Viện Hàn lâm Khoa học Nga, nhà nghiên cứu Nikolai Salashchenko. Nguồn bức xạ đang được tạo ra dưới sự hướng dẫn của nhà nghiên cứu hàng đầu Konstantin Koshelev tại Viện Quang phổ (ISAN) thuộc Viện Hàn lâm Khoa học Nga ở Troitsk, Vùng Matxcova. Và các hệ thống định vị siêu chính xác, có thể được sử dụng trong việc lắp đặt quang học, được xử lý bởi Phòng thí nghiệm Amphora ở Moscow.
Năm 2000, lúc đó nhà nghiên cứu Konstantin Koshelev này đang làm cố vấn tại Viện Vật lý Plasma Hà Lan (Dutch Institute for Plasma Physics), ASML đề xuất rằng phòng thí nghiệm của ông tại ISAN tư vấn cho công ty ASML. Đề xuất này dựa trên những thành tựu của ISAN trong việc nghiên cứu quang phổ phát xạ của các vật liệu khác nhau, đã được nghiên cứu ở đó trong nhiều thập kỷ. Đầu tiên thì chỉ là đề nghị tư vấn, nhưng sau đó thì các cuộc tư vấn đã phát triển thành sự hợp tác chặt chẽ khi ISAN đề xuất một phiên bản mới của nguồn EUV cho máy quang khắc EUV tương lai.
Lúc đó, ISAN đã phát triển 2 loại nguồn bức xạ cho EUV - dựa trên phóng điện và plasma laser.
Rồi sau đó, cùng với nhà khoa học khác của Nga là Nikolai Salashchenko đã nói ở trên, họ bắt đầu dùng X-ray photolithography, quang khắc tia X cho EUV, đây cũng là công trình nghiên cứu của họ từ những năm 70s, và còn nhiều nghiên cứu khác
Các nhà khoa học Nga đã tham gia phát triển công nghệ quang khắc EUV cho ASML, ASML trả tiền cho họ và bằng sáng chế thuộc sở hữu của ASML.
Nói chung, Nga nắm được bí kíp công nghệ quang khắc nói riêng, khắc chip nói chung, nhưng không đủ nguồn lực để xây dựng hệ thống quang khắc công nghiệp quy mô lớn. Nga không đủ nguồn lực chế tạo các thiết bị công nghiệp, nhưng tri thức, bí kíp họ nắm, nếu TQ móc được từ họ (dĩ nhiên không trực tiếp) rồi sau đó mày mò chế tạo. Những cái nào chưa chế tạo ra thì đi mua.
TQ vẫn luôn đầu tư tiền vào các viện nghiên cứu, trường đại học của Mỹ, Nga, châu Âu, chẳng lẽ họ không nắm được chút nào?
Gần đây Mỹ đang chặn nguồn tiền của TQ cho các cơ sở nghiên cứu của họ, khiến TQ càng tăng cường đầu tư vào Nga.
Bác thích cứ tham khảo các bài báo nghiên cứu khoa học, trên các tạp chí khoa học quốc tế của Konstantin Koshelev, Nikolai Salashchenko, và các cộng sự của họ, toàn các công trình ngon về bức xạ extreme ultraviolet radiation , plasma cho lithography, mask, laser-produced plasma, X-ray photolithography, etc.
Họ đã nghiên cứu sâu từ hồi những năm 70s cho đến tận bây giờ
. Trang web của mấy ông Nhật thì cứ như thời 200x 
